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扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种利用电子束扫描样品表面以获取高分辨率图像的设备，其工作原理涉及到真空环境以确保电子束的正常传输和成像质量，了解扫描电镜的真空度及其重要性是十分必要的。
扫描电镜的真空度是指其工作腔内的气体压强与绝对真空的比值，良好的真空度是确保扫描电镜正常工作的关键，因为高真空度可以确保电子束在传输过程中不受气体分子的干扰，从而提高成像质量和分辨率，高真空度还可以防止样品受到气体分子的污染，保护样品和电子光学系统。
当扫描电镜的真空度不够时，会出现一系列问题，电子束在传输过程中会受到气体分子的散射和干扰，导致图像质量下降，分辨率降低，真空度不足还可能导致样品受到污染，影响观测结果，当扫描电镜的真空度不够时，需要及时采取措施解决问题。
常见的解决扫描电镜真空度不够的方法包括：
1、检查真空系统：检查真空泵、真空管道和阀门等部件是否正常工作，确保没有漏气现象。
2、清洁样品室和真空腔体：清除腔体内的灰尘和污染物，确保密封性良好。
3、更换密封件和耗材：如密封垫、密封圈等磨损或老化，应及时更换。
4、检查气体流量：检查真空系统内的气体流量是否正常，避免过大或过小影响真空度。
扫描电镜的真空度是保证其正常工作的重要参数之一，当发现真空度不够时，应及时采取措施解决问题，以确保扫描电镜的成像质量和样品的观测结果。